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应该文献链接ModelingofmetastablephaseformationforsputteredTi1-xAlxNthinfilms (ActaMater.,2019,DOI:10.1016/j.actamat.2018.12.004)本文系作者供稿。豆瓣磁控溅射Ti1-xAlxN薄膜的实验数据与该模型吻合良好。【引言】TiAlN薄膜长期作为基准涂层材料用于金属切削与成型等领域，个征其亚稳固溶体在物理气相沉积过程中容易形成，对材料结构与性能产生决定影响。

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【小结】基于组合磁控溅射实验，豆瓣CALPHAD热力学模型和第一性原理计算，提出了一种考虑动力学效应的TiAlN薄膜亚稳相形成模型。

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